全自動濕法去膠清洗機-南通華林科納
華林科納濕法處理設(shè)備是國內(nèi)致力于集成電路濕法設(shè)備的研制單位,多年來與眾多的集成電路生產(chǎn)企業(yè)密切合作,研制開發(fā)出適合于4吋-8吋的全自動系列濕法處理設(shè)備
設(shè)備名稱 | 南通華林科納-全自動濕法去膠清洗機設(shè)備 |
設(shè)備概況 | 尺寸(參考):約3500(L)*1500(W)*2000(H)(具體尺寸根據(jù)實際圖紙確定) 清洗件規(guī)格:一次性可裝8寸晶片25pcs 典型生產(chǎn)節(jié)拍:5~10min/籃(清洗節(jié)拍連續(xù)可調(diào)) 門:不銹鋼合頁門+PVC視窗 |
主題構(gòu)造特點 | 設(shè)備由于是在一個腐蝕的環(huán)境,我們設(shè)備的排風(fēng)方式,臺面下抽風(fēng),每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋,槽蓋下有單獨的抽風(fēng)裝置。 設(shè)備結(jié)構(gòu)外型,整機主要由機架、工藝槽體、機械手傳輸系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。 由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強,設(shè)備需要做防腐處理:(1)設(shè)備機架采用鋼結(jié)構(gòu)骨架包塑;(2)殼體采用鏡面SUS316L不銹鋼焊接,制程區(qū)由耐腐蝕的SUS316L板材組合焊接而成:(3)電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部,與濕區(qū)和管路區(qū)隔離;(4)槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料;(5)機械手探人濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理。 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、封裝等 |
設(shè)備制造商 | 南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 ; |
全自動濕法去膠清洗機設(shè)備,提供的全自動濕法去膠清洗機設(shè)備