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晶圓清洗機(jī)-CSE

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地南通市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2025/2/13 8:21:49
訪問次數(shù)44

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2008年3月，投資4500萬(wàn)元。主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、液晶濕制程設(shè)備、太陽(yáng)能光伏設(shè)備、藍(lán)寶石加工設(shè)備的研發(fā)、技術(shù)推廣和生產(chǎn)銷售。

公司一直秉承“以質(zhì)量為生存，以創(chuàng)新求發(fā)展”的經(jīng)營(yíng)理念，不堅(jiān)持比客戶對(duì)自己的需求了解更多，以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和優(yōu)良的服務(wù)贏得了各界用戶的贊許和信賴。

華林科納公司通過(guò)與上公司的廣泛合作，目前已形成濕法清洗系統(tǒng)、刻蝕系統(tǒng)、CDS系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)的四大系列數(shù)十種型號(hào)的產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用與大規(guī)模集成電路、電力電子器件、分立器件、MEMS和太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。

主要設(shè)備有：配液機(jī) IPA干燥機(jī) 化學(xué)品恒溫機(jī) 、化學(xué)試劑分裝機(jī)、濕法清洗系統(tǒng)、刻蝕系統(tǒng)、CDS系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)

展開顯示更多內(nèi)容

配液機(jī)，IPA干燥機(jī)，化學(xué)品恒溫機(jī)，化學(xué)試劑分裝機(jī)，濕法清洗系統(tǒng)、刻蝕系統(tǒng)、CDS系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

晶圓清洗機(jī)設(shè)備名稱：晶圓清洗機(jī)-產(chǎn)品特點(diǎn)：?針對(duì)21英寸外徑或15x15英寸的基底?巨聲環(huán)境清洗艙（可配備去離子水

晶圓清洗機(jī)-CSE 產(chǎn)品信息

晶圓清洗機(jī)

設(shè)備名稱：晶圓清洗機(jī)-

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 針對(duì)21英寸外徑或15x15英寸的基底

? 巨聲環(huán)境清洗艙（可配備去離子水, 清洗刷, 熱去離子水, 高壓去離子水, 熱氮?dú)猓?/p>

? 化學(xué)注射臂

? 帶化學(xué)噴射的可變速清洗刷

? 觸屏用戶界面

? 手動(dòng)上下載

? 安全鎖和報(bào)警器

? 占地尺寸30”D x 26”W

可選配項(xiàng)：

? 化學(xué)試劑傳送單元

? 白骨化清洗

? 臭氧發(fā)生器

? 氫化雙氧水發(fā)生器

? 高壓雙氧單元

? 硫酸氫過(guò)氧化物

? 紅外加熱

? 雙氧水循環(huán)裝置

? 機(jī)械手上下載單元

? 帶EFEM和SMIF界面的集群系統(tǒng)

清洗功能	? 晶圓片 ? 藍(lán)寶石外延片 ? 晶圓框架上的芯片 ? 顯示面板 ? ITO膜顯示材料 ? 有圖形掩膜和無(wú)圖形掩膜 ? 掩膜坯料 ? 薄膜式掩膜 ? 接觸式掩膜
光刻處理工藝	? SPM剝離 ? 光刻膠涂膜 ? 光刻膠剝離工藝
刻蝕	? 金屬刻蝕（鋁，銅，鉻，鈦）
白骨化清洗	? 在晶圓片上注射硫酸和雙氧水的混合液 ? 紅外加熱 ? 刷洗 ? 兆聲雙氧水清洗 ? 熱氮和甩干
去膠/剝離工藝	? 帶紅外加熱的NMP滴膠 ? 刷洗 ? 兆聲雙氧水清洗 ? 熱氮和甩干
CMP溶液清洗	? 用刷洗和兆聲清洗去除CMP顆粒 ? 化學(xué)噴射臂 ? 化學(xué)噴射罐 ? 為前面和背面刷洗設(shè)計(jì)的特殊托盤 ? 可調(diào)速的PVA清洗刷 ? 可調(diào)的清洗刷/晶圓接觸壓力 ? 刷式化學(xué)噴射
帶膜/不帶膜式掩膜清洗	? 全套清洗（無(wú)需更換保護(hù)膜） ? 全保護(hù)膜 ? 膜式掩膜清洗工藝 1) 掩膜背面清洗后兆聲雙氧水清洗刷式清洗化學(xué)清洗熱氮甩干 2)熱氮甩干