兆聲波清洗機(jī)—華林科納
Mega sonic cleaning machine
南通華林科納-兆聲波清洗機(jī) 適用于硅晶片 藍(lán)寶石晶片 砷化鎵晶片 磷化銦晶片 碳化硅晶片 石英晶片
可處理晶片尺寸2'-8'；
可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等；
主要應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體 太陽能光伏 液晶等
設(shè)備名稱 | -兆聲波清洗機(jī) |
類型 | 槽式 |
尺寸(參考) | 約3500（L）×1350 (W)×2300mm (H) |
清洗件規(guī)格 | 4” 2籃50片 |
設(shè)備凈重 | 1T |
運(yùn)行重量 | 1.5T±10% |
電源 | 380v 50hz |
功率 | 70kw |
槽體尺寸 | 200mm*400mm*260mm |
槽數(shù) | 6個(gè) |
操作方式 | 手動(dòng)/半自動(dòng)/全自動(dòng) |
適用規(guī)格 | 2英寸-8英寸 |
適用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體、太陽能、液晶等
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設(shè)備穩(wěn)定性 | 1、清洗良品率≥99% 2、≥0.2um顆粒少于10顆
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介 | |
1 | 設(shè)備機(jī)架采用不銹鋼骨架外包PP板，耐酸堿腐蝕； |
2 | 電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)隔離； |
3 | 槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料； |
4 | 機(jī)械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理； |
5 | 設(shè)備排風(fēng)采用頂部百級(jí)FFU送新風(fēng)，臺(tái)面下抽風(fēng)，每套工藝清洗槽都有自動(dòng)開閉的槽蓋，槽蓋下有單獨(dú)的抽風(fēng)裝置，排風(fēng)口處設(shè)有自動(dòng)調(diào)節(jié)風(fēng)門，即上電打開風(fēng)門，斷電關(guān)閉風(fēng)門，具有風(fēng)壓檢測(cè)功能，以及氮?dú)?、壓縮空氣壓力報(bào)警功能； |
6 | 溶液槽中藥液自動(dòng)供液按設(shè)定好比例混合，并可在工作過程中根據(jù)設(shè)定補(bǔ)液；客戶根據(jù)自身工藝條件自行設(shè)定； |
7 | 臺(tái)面為多孔結(jié)構(gòu)，便于臺(tái)面上沖洗水、液的排出； |
8 | 操作面設(shè)有透明PVC安全門； |
9 | 設(shè)備設(shè)有漏電、急停、液位、過溫、安全門開、漏液、超時(shí)等保護(hù)和報(bào)警裝置，保證設(shè)備的安全可靠； |
10 | 配備有進(jìn)口PFA，水、各一。 |
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