干式螺桿真空泵的泵腔內(nèi)裝有一對同步反向嚙合旋轉(zhuǎn)的多級螺旋轉(zhuǎn)子，將泵腔分隔成幾段不相連的空腔。正常工作時，隨著兩個轉(zhuǎn)子的嚙合轉(zhuǎn)動，生成吸氣腔并且體積不斷增大吸入氣體，當(dāng)體積達(dá)到時，吸氣腔轉(zhuǎn)為中間腔；中間腔向右運動將氣體從進氣端向排氣端運送，當(dāng)中間腔與排氣口通道相連時，中間腔轉(zhuǎn)為排氣腔；排氣腔體積減少排出氣體，當(dāng)氣體全部排出后，下一個中間腔開始與排氣通道相連。如此循環(huán)往復(fù)從而形成持繼的抽氣效果。
干式螺桿真空泵可分為LG型等螺距螺桿真空泵與LGB型變螺距螺桿真空泵。
干式螺桿真空泵適合抽除各種氣體，適用于真空釬焊、真空燒結(jié)、真空退火、真空鍍膜、真空冶煉、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空輸送、真空吸附、真空包裝、真空澆鑄等工藝，廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、冶金、醫(yī)藥、化工、半導(dǎo)體、鍍膜、食品包裝、冷凍干燥、鑄造等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)原理圖 Construction Scheme：
特點Characteristic：
—工作腔內(nèi)無潤滑油存在，可獲得清潔真空，有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量。
—工作腔內(nèi)無油氣污染被抽氣體，工藝性氣體回收利用率高，尾氣處理方便；同時也避免了油氣和油煙等的排放，環(huán)境污染小。
—工作腔內(nèi)無潤滑油存在，避免了因潤滑油乳化、變質(zhì)而出現(xiàn)的運行故障，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性，同時減少了泵潤滑油的損耗。
—泵適用范圍廣。泵工作腔及螺旋轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣的工況；
—泵腔內(nèi)各運動零件之間為間隙密封結(jié)構(gòu)，對少量小顆粒粉塵不敏感，且泵腔直通，無中隔板結(jié)構(gòu)，粉塵不易在泵腔內(nèi)沉積；采用防爆配置時可用于抽除易燃易爆的氣體。
—泵可單獨使用，或者與羅茨泵、分子泵等組合成無油真空機組，作為機組的前級泵使用。單泵進氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作，抽氣效率高，可大大簡化抽真空系統(tǒng)。
主要性能參數(shù) Performance Parameter：
| 型號 Model | 極限壓力Ultimate Pressure （50/60Hz） | 抽氣速率 Pumping Speed （50/60Hz） | 進氣口徑 Inlet Diam. ( mm ) | 排氣口徑 Outlet Diam. ( mm ) | 配用功率 Motor Power ( kW ) （50/60Hz） | 冷卻水量 Cooling Water Consumption ( L/min ) | 質(zhì)量 Weight (kg) | ||
| Torr | Pa | m3/Hr | L/S | ||||||
| LG50 | 0.015/ 0.0075 | 2/1 | 180/216 | 50/60 | 65 | 40 | 7.5/7.5 | 2.5 | 295 |
| LG70 | 250/300 | 70/84 | 80 | 40 | 7.5/7.5 | 2.6 | 350 | ||
| LG110 | 400/480 | 110/132 | 100 | 65 | 11/15 | 2.8 | 480 | ||
| LG150 | 540/650 | 150/180 | 150 | 65 | 18.5/18.5 | 3 | 520 | ||
| LG150A | 540/650 | 150/180 | 150 | 80*80 | 18.5/18.5 | 3 | 800 | ||
| LG200 | 720/850 | 200/240 | 150 | 65 | 22/22 | 4 | 680 | ||
| LG300 | 1080/1290 | 300/360 | 200 | 80 | 30/37 | 5.5 | 950 | ||
| LG300A | 0.75/0.52 | 100/70 | 1080/1290 | 300/360 | 150 | 65 | 30/37 | 2.8 | 680 |
注：表中的數(shù)據(jù)為單泵的數(shù)據(jù)，配消聲器后設(shè)備的排氣口徑與質(zhì)量會發(fā)生變化。
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