詳細(xì)摘要： 一、氣動(dòng)薄膜三通調(diào)節(jié)閥概述：氣動(dòng)薄膜三通調(diào)節(jié)閥分為ZMAQ氣動(dòng)三通合流調(diào)節(jié)閥、ZMAX氣動(dòng)三通分流調(diào)節(jié)閥，由氣動(dòng)薄膜多彈簧執(zhí)行機(jī)構(gòu)和三通閥組成