EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),仍是的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。
機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作,不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
功能和優(yōu)勢(shì)
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。
它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。
EH 泵具有的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供:
安靜的無振動(dòng)運(yùn)行。
牢靠且防腐蝕。
的軸封,處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。
經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可沒有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護(hù)要求降到低。
軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化,可潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小,而這些特點(diǎn)正是設(shè)備的制造商所需要的。
數(shù)據(jù)
| EH250 |
排量(工作容積) | 310 m3h-1 / 185 ft3min-1 |
使用前級(jí)泵時(shí)的抽速 | 240 m3h-1 / 141 ft3min-1 |
泵的壓力差 | 0-180 mbar/0-140 Torr |
進(jìn)氣口連接 | ISO63 |
連接 | ISO40 |
轉(zhuǎn)速 | 0-2900 rpm |
連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力 | 0-1000 mbar/0-760 Torr |
大壓力 | 1000 mbar/760 Torr |
的前級(jí)泵 | GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 |
電機(jī)功率 |
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碳?xì)浠衔?/span> | 2.2 kW / 3 hp |
PFPE | 1.5 kW / 2 hp |
ATEX | 2.2 kW |
防爆 | 3 hp |
環(huán)境溫度范圍 |
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工作 | 5 至 40°C/40 至 104°F |
存儲(chǔ) | -10 至 80°C/14 至 176°F |
大工作濕度 | 90% RH |
用油 | Ultragrade 20 |
油容量 |
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齒輪箱 |
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聯(lián)軸器蓋 | 1.5 l/1.6 qt |
軸封儲(chǔ)油器 | 0.125 l/0.25 qt |
重量 | 61 kg/134 lb |