主要特點:
★高精度,快響應(yīng)型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭,國際標準機械接頭
儀器簡介:
用 途:
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
標 準:
氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態(tài)規(guī)定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00V
輸出電壓檢測…………0~+5.00V