chiller溫控器冰水機HRS090 維修服務
半導體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。
chiller溫控器冰水機HRS090 維修服務
應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置,CMP(工藝機械拋光), 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制,智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
chiller溫控器冰水機HRS090 維修服務 應用領域
激光加工、印刷設備、清潔設備、焊接設備、高分析儀、LCD制造設備、模具溫調(diào)、高頻感應加熱設備、X射線(數(shù)字式)設備等
chiller溫控器冰水機HRS090 維修服務
zonglen冷熱液體循環(huán)沖擊機chiller
ZL802是一臺循環(huán)液進行溫度控制并將其供給至客戶的冷熱源的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置,采用控溫設計和技術,具有廣泛的溫度范圍:-80℃至+300℃,在半導體制作過程激光加工機/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等廣泛用途中成果較多。
zonglen冷熱液體循環(huán)沖擊機chiller 特點
·溫度范圍:-80℃~+300℃
·溫度穩(wěn)定性±0 .1℃℃
·PLC觸摸屏操作,人機交互界面
·結(jié)構(gòu)簡單、可靠性高
·定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復位、防凍功能
·溫度波動小
zonglen冷熱液體循環(huán)沖擊機chiller 應用
·應用于半導體、激光、焊接機、食品、包裝機,如:半導體(蝕刻裝置、CMP、涂布機)·顯影機、試驗機、清洗機)激光(激光加工機·激光焊接機、激光器、、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查裝置、二次電池制造工程)
·焊接機(弧焊、電阻焊接、高頻感應加熱設備)
可用選項
·省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節(jié)能。
可對應溫度穩(wěn)定性±0.1℃、溫度范圍-80℃~+300℃。
循環(huán)液:氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)。
冷卻方式:風冷式(可選配水冷式)