產(chǎn)品特點(diǎn):
2 . 大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)
采用6寸平臺(tái)設(shè)計(jì),行程158×158mm,可適用于對(duì)應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測(cè),也可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè)。
3 . 高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
4 . 安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過(guò)熱。
參數(shù)配置
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC |
觀察筒 | 30°傾斜,正像,無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,分光比100:0或0:100 |
30°傾斜,倒像,無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,三檔分光比0:100;20:80;100:0 | |
5-35°傾角可調(diào),正像,無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,單邊視度調(diào)節(jié):±5屈光度,兩檔分光比100:0或0:100 | |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm,視度可調(diào),可帶測(cè)微尺 |
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/23mm,視度可調(diào) | |
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào) | |
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/26.5mm,視度可調(diào) | |
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL15X/16mm | |
物鏡 | 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)消色差金相物鏡5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X、100X(選配) |
明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X(選配) | |
轉(zhuǎn)換器 | 5孔內(nèi)傾式明暗場(chǎng)轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 反射式機(jī)架 , 前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm, 微調(diào)精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置.內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) , 帶光亮度設(shè)定按鈕與復(fù)位按扭 |
透、反射式機(jī)架 , 前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm, 微調(diào)精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置.內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng),5W暖色LED透射光照明系統(tǒng),上下光獨(dú)立可控 | |
載物臺(tái) | 6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積445mm×240mm,移動(dòng)范圍:158mm×158mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);玻璃載物臺(tái)板(反射用) |
6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積445mm×240mm,反射照明移動(dòng)范圍:158mm×158mm;透射照明移動(dòng)范圍:100×100mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);玻璃載物臺(tái)板(透、反射用) | |
照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器 , 帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場(chǎng)照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像 | 0.35X/0.5X/0.65X/1X攝像接筒,C型接口,可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ;反射用干涉濾色片組 ;高精度測(cè)微尺 ;DIC 微分干涉組件 |