原子力顯微鏡FM-Nanoview 1000AFM
一、主要特點(diǎn)
1.光機(jī)電一體化設(shè)計(jì),外形結(jié)構(gòu)簡單; 2.掃描探頭和樣品臺集成一體,抗干擾能力強(qiáng); 3.精密激光檢測及探針定位裝置,光斑調(diào)節(jié)簡單,操作方便; 4.采用精密探針定位模塊,更換探針簡單方便 5.采用樣品趨近探針方式,使針尖垂直于樣品掃描; 6.伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制,驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針,實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位; 7.高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置,可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域; 8.高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇; 9.帶光學(xué)定位的CCD觀察系統(tǒng),實(shí)時(shí)觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域 10.模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù); 11.集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統(tǒng)使用。 12.彈簧懸掛式防震方式,簡單實(shí)用,抗干擾能力強(qiáng)
|
二、友好的軟件界面及操作功能
1. 可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512
2. 多通道圖像同步采集顯示,實(shí)時(shí)查看剖面圖
3. 可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能,任意選擇感興趣的樣品區(qū)域
4. 可任意選擇樣品起始掃描角度
5. 激光光斑檢測系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能
6. 可任意定義掃描圖像的色板功能
7. 支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能
8. 支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正
9. 支持樣品圖片離線分析與處理功能
三、技術(shù)規(guī)格
名 稱 | 參 數(shù) | 名 稱 | 參 數(shù) |
工作模式 | 1. 接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力 | 掃描角度 | 任意 |
樣品尺寸 | Φ≤90mm;H≤20mm | 樣品移動(dòng)范圍 | 0~20mm |
*大掃描范圍 | 橫向20um,縱向2um | 馬達(dá)趨近脈沖寬度 | 10±2m |
掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm | 光學(xué)放大倍數(shù) | 4X |
掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 光學(xué)分辨率 | 2.5um |
掃描控制 | XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A | 圖像采樣點(diǎn) | 256×256,512×512 |
數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D 多路同步采樣 | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
計(jì)算機(jī)接口 | USB2.0 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
運(yùn)行環(huán)境 | 運(yùn)行于WindowsXP/7/8操作系統(tǒng) |