無(wú)錫冠亞制冷加熱控溫系統(tǒng)的典型應(yīng)用：
高壓反應(yīng)釜冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制、
雙層玻璃反應(yīng)釜冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制、
雙層反應(yīng)釜冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制、
微通道反應(yīng)器冷熱源恒溫控制；
小型恒溫控制系統(tǒng)、
蒸餾系統(tǒng)控溫、
材料低溫高溫老化測(cè)試、
組合化學(xué)冷源熱源恒溫控制、
半導(dǎo)體設(shè)備冷卻加熱、
真空室制冷加熱恒溫控制。
| 型號(hào) | SUNDI-320 | SUNDI-420W | SUNDI-430W | |
|---|---|---|---|---|
| 介質(zhì)溫度范圍 | -30℃～180℃ | -40℃～180℃ | -40℃～200℃ | |
| 控制系統(tǒng) | 前饋PID ,無(wú)模型自建樹算法，PLC控制器 | |||
| 溫控模式選擇 | 物料溫度控制與設(shè)備出口溫度控制模式 可自由選擇 | |||
| 溫差控制 | 設(shè)備出口溫度與反應(yīng)物料溫度的溫差可控制、可設(shè)定 | |||
| 程序編輯 | 可編制5條程序，每條程序可編制40段步驟 | |||
| 通信協(xié)議 | MODBUS RTU 協(xié)議 RS 485接口 | |||
| 物料溫度反饋 | PT100 | |||
| 溫度反饋 | 設(shè)備進(jìn)口溫度、設(shè)備出口溫度、反應(yīng)器物料溫度（外接溫度傳感器）三點(diǎn)溫度 | |||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.5℃ | |||
| 反應(yīng)物料溫控精度 | ±1℃ | |||
| 加熱功率 | 2KW | 2KW | 3KW | |
| 制冷能力 | 180℃ | 1.5kW | 1.8kW | 3kW |
| 50℃ | 1.5kW | 1.8kW | 3kW | |
| 0℃ | 1.5kW | 1.8kW | 3kW | |
| -5℃ | 0.9kW | 1.2kW | 2kW | |
| -20℃ | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | |
| -35℃ | 0.3kW | 0.5kW | ||
| 循環(huán)泵流量、壓力 | max10L/min 0.8bar | max10L/min 0.8bar | max20L/min 2bar | |
| 壓縮機(jī) | 海立/泰康/思科普 | |||
| 膨脹閥 | 丹佛斯/艾默生熱力膨脹閥 | |||
| 蒸發(fā)器 | 丹佛斯/高力板式換熱器 | |||
| 操作面板 | 7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示、記錄 | |||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||
| 密閉循環(huán)系統(tǒng) | 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙蜏刈詣?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。 | |||
| 制冷劑 | R-404A/R507C | |||
| 接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | G1/2 | |
| 水冷型 W 溫度 20度 | 450L/H 1.5bar~4bar G3/8 | 550L/H 1.5bar~4bar G3/8 | ||
| 外型尺寸 cm | 45*65*87 | 45*65*87 | 45*65*120 | |
| 正壓防爆尺寸 | 70*75*121.5 | 70*75*121.5 | ||
| 標(biāo)配重量 | 55kg | 55kg | 85kg | |
| 電源 | AC 220V 50HZ 2.9kW（max) | AC 220V 50HZ 3.3kW（max) | AC380V 50HZ 4.5kW（max) | |
| 外殼材質(zhì) | SUS 304 | SUS 304 | SUS 304 | |
| 選配 | 正壓防爆 后綴加PEX | |||
| 選配 | 可選配以太網(wǎng)接口，配置電腦操作軟件 | |||
| 選配 | 選配外置觸摸屏控制器，通信線距離10M | |||
| 選配電源 | 100V 50HZ單相，110V 60HZ 單相，230V 60HZ 單相， 220V 60HZ 三相，440V～460V 60HZ 三相 | |||
反應(yīng)釜制冷加熱冷卻一體機(jī) TCU控溫單元
反應(yīng)釜制冷加熱冷卻一體機(jī) TCU控溫單元
半導(dǎo)體制造是一個(gè)高度復(fù)雜的工藝過(guò)程，其中恒溫器的使用對(duì)于確保生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量比較重要。半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器能夠準(zhǔn)確控制生產(chǎn)環(huán)境中的溫度，為半導(dǎo)體材料的生長(zhǎng)、摻雜、刻蝕等工藝步驟提供條件。以下是半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器操作中的幾個(gè)關(guān)鍵注意點(diǎn)：
1、準(zhǔn)確的溫度控制：半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，冠亞制冷半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器能夠準(zhǔn)確控制并維持設(shè)定的溫度值，通常需要在±0.1℃甚至更小的范圍內(nèi)波動(dòng)。因此，半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器的校準(zhǔn)和維護(hù)是日常操作中的環(huán)節(jié)。
2、快速的響應(yīng)速度：半導(dǎo)體工藝過(guò)程中，溫度的快速變化可能導(dǎo)致材料結(jié)構(gòu)的突變，影響產(chǎn)品質(zhì)量。半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器需要具備快速響應(yīng)的能力，能夠在短時(shí)間內(nèi)調(diào)整溫度至設(shè)定值，以應(yīng)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的情況。
3、良好的熱均勻性：半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器內(nèi)的熱分布須均勻，以避免產(chǎn)品因溫度梯度導(dǎo)致的性能不一致。在設(shè)計(jì)恒溫器時(shí)，需要充分考慮熱傳導(dǎo)、對(duì)流和輻射等因素，確保工作區(qū)域內(nèi)的溫度分布穩(wěn)定且均勻。
4、可靠的措施：半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備通常運(yùn)行在高精度和高價(jià)值的狀態(tài)下，半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器的安全性能比較重要。這包括過(guò)熱保護(hù)、電源保護(hù)、故障報(bào)警等功能，以確保在設(shè)備出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)能夠及時(shí)切斷電源并發(fā)出警報(bào)，防止設(shè)備損壞和生產(chǎn)中斷。
5、智能的控制系統(tǒng)：半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器通常配備智能控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控、數(shù)據(jù)記錄和分析等功能。操作人員可以通過(guò)控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)了解恒溫器的運(yùn)行狀態(tài)，并根據(jù)生產(chǎn)需要調(diào)整參數(shù)，提高生產(chǎn)效率。
6、定期的維護(hù)保養(yǎng)：半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器作為長(zhǎng)期運(yùn)行的設(shè)備，需要定期進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，包括清潔、檢查傳感器、更換老化的部件等。這不僅可以確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行，還可以延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。
7、嚴(yán)格的操作規(guī)程：冠亞制冷半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器操作人員需要接受專業(yè)培訓(xùn)，熟悉半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器的操作規(guī)程和注意事項(xiàng)。在操作過(guò)程中，應(yīng)嚴(yán)格按照規(guī)程執(zhí)行，避免因誤操作導(dǎo)致設(shè)備故障或產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題。
綜上所述，半導(dǎo)體專用工藝過(guò)程恒溫器的操作涉及多個(gè)方面的注意事項(xiàng)，需要操作人員具備專業(yè)知識(shí)和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ鲬B(tài)度，以確保生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性。
采購(gòu)中心
