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OTF-1200X-50-PE-S 小型PECVD管式爐系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱天津市科器高新技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào)
所在地天津市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/2/1 9:37:31
訪問次數(shù)226

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天津市科器*有限公司是天津市*產(chǎn)業(yè)園區(qū)*認(rèn)證的*，我公司擁有一支實(shí)力雄厚的科研隊(duì)伍，主要從事*產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)。我公司的代表性產(chǎn)品有： 1、769YP系列手動(dòng)、DY系列電動(dòng)及ZYP系列自動(dòng)粉末壓片機(jī)、DJY系列等靜壓機(jī)、ZDM系列振動(dòng)磨、MJ系列模具及HW系列紅外附件。我公司專業(yè)生產(chǎn)壓片機(jī)，家生產(chǎn)壓片機(jī)的企業(yè)。我公司生產(chǎn)的壓片機(jī)采用密封件及鋼材，可以打到大壓力，壓片機(jī)不掉壓，不漏油，廣泛應(yīng)用于電池、超導(dǎo)、水泥、陶瓷、催化、硅酸鹽、粉末冶金、海泥分析、生化分析以及新材料制樣研發(fā)等行業(yè)。此外，本產(chǎn)品還可與鈣鐵、紅外、X熒光等測試儀器配套制樣使用，可替代同類進(jìn)口產(chǎn)品。 2、YZS系列高效液相制備色譜儀該系列儀器能方便快捷地分離制備出高純度的物質(zhì)，廣泛應(yīng)用于有機(jī)化學(xué)、藥物化學(xué)、生物化學(xué)、環(huán)境化學(xué)、食品等領(lǐng)域。 3、KGZ系列鏡向光澤度儀及涂料儀器該系列儀器主要用于涂料、建材、紙張、油墨、陶瓷、塑料等平面制品的光澤度測量。我公司立足于以人為本、客戶*、精益求精、追求的精神。我公司將以的商業(yè)信譽(yù)、的產(chǎn)品質(zhì)量以及的技術(shù)服務(wù)與社會(huì)各界朋友攜手前進(jìn)，共創(chuàng)美好未來！

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OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統(tǒng)

OTF-1200X-50-PE-S 小型PECVD管式爐系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源，一個(gè)爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD 系統(tǒng)。對(duì)于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索，此套系統(tǒng)極為理想。
特征

與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進(jìn)行氣相沉積實(shí)驗(yàn)
對(duì)于薄膜的應(yīng)力可以通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制
通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量
能夠廣泛地用于各種材料沉積，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等.

技術(shù)參數(shù)

開啟式管式爐	輸入電源：208 – 240V AC, 1.2kW 工作溫度1200℃（小于1小時(shí)）連續(xù)使用溫度1100℃ 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，并且表面涂有美國進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可延長儀器使用壽命和提高加熱效率高純石英爐管，尺寸為 50mmOD x 44mmID x 780mmL 可設(shè)置30段升降溫程序，并帶有過熱和斷偶保護(hù) 加熱區(qū)長度為200mm,恒溫區(qū)長度為60mm(+/-1°C)
等離子體射頻電源	輸出功率: 5 -500W可調(diào) 穩(wěn)定性為+/-1% 射頻電源頻13.56 MHZ, 穩(wěn)定性±0.005% 反向功率: 200W max 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體, 陰極噪聲<50 dB. 冷卻方式：空氣冷卻輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz
真空法蘭和接頭	真空法蘭采用304不銹鋼制作左端法蘭上安裝有防腐型數(shù)字真空計(jì)、不銹鋼針閥和一個(gè)球閥。右端法蘭設(shè)計(jì)為KF25接口，上面配有泄氣閥，擋板閥和兩個(gè)KF25卡箍儀器中所配的數(shù)字真空計(jì)，可以不用因使用氣體的不同而進(jìn)行校正，同時(shí)還具有防腐功能
真空泵	AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W 2L/s 與本公司管式爐配套使用，可使其真空度達(dá)到10-2 torr 進(jìn)氣端帶有儲(chǔ)氣球（防止回油），出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴(kuò)散到空氣中，保護(hù)環(huán)境和人體健康）
產(chǎn)品尺寸和重量	外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H) 凈重: 160 lbs
可選配置	防腐型小型三路浮子混氣系統(tǒng) 精密氣液混合系統(tǒng) 三路質(zhì)子混氣系統(tǒng)
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）
質(zhì)量認(rèn)證	CE Certified