特點
●操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
●軟性基板也可以進行傳送操作。
●傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。●可通過網(wǎng)絡(luò)進行遠程操作（選購品）。
| 模式 | RIE（DP模式選購） |
| 高頻輸功率 | 600W |
| 反應(yīng)臺尺寸 | W385×D362mm |
| 反應(yīng)氣體 | 2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） |
| 反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 |
| 氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 |
| 內(nèi)腔尺寸 | W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸） |
| 外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
| 真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min） |
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