PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器
具有孔徑的高精度XY掃描儀
PI公司介紹：
PI位于德國，是一家典型的高科技中型企業(yè)。公司的規(guī)模使其能迅速靈活地響應客戶的要求，同時還可滿足已建立并經測試的流程的可靠性和安全性要求。PI因其產品的高質量和客戶關系的整體可靠性而聞名。
產品描述
X和Y向上的行程達100微米×100微米 電容式傳感器使分辨率達0.1納米
帶直接驅動器的高速版本 可提供真空兼容和非磁性版本 并聯(lián)運動實現(xiàn)更高精度和動態(tài)
導向誤差主動補償?shù)牟⑿杏嬃? 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng) 50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應用
應用領域
- 掃描顯微鏡
- 共聚焦顯微鏡
- 掩模/晶圓定位
- 表面測量技術
- 納米壓印
- 顯微操縱
- 圖像處理/穩(wěn)定
- 高運動平面度和直線度的納米定位
帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、*穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
自動配置和快速部件更換
機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準功能就會使用這些數(shù)據。
并聯(lián)運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作
在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有小的質量慣性和相同的設計，可實現(xiàn)快速、動態(tài)和精密的運動。
PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運行1000億個循環(huán)。
零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對所受到的沖擊和振動不敏感。它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。
直接位置測量帶來大精度
運動直接在運動平臺上測量，*不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現(xiàn)的重復精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應控制。
適用于復雜真空應用
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。
規(guī)格
P-733.2CDP-733.2CL | P-733.2DD | 單位 | 公差 | |
|---|---|---|---|---|
主動軸 | X, Y | X, Y |
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運動和定位 |
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集成傳感器 | 電容式 | 電容式 |
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-20至120 伏時的開環(huán)行程 | 115 微米×115 微米 | 33 微米×33 微米 |
| +20 % / -0 % |
行程，閉環(huán) | 100 微米×100 微米 | 30 微米×30 微米 |
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分辨率，開環(huán) | 0.2 | 0.1 | 納米 | 典型值 |
分辨率，閉環(huán) | 0.3 | 0.1 | 納米 | 典型值 |
線性誤差（X、Y） | 0.03 | 0.03* | % | 典型值 |
重復精度（X、Y） | <2 | <2 | 納米 | 典型值 |
螺距（X、Y） | <±3 | <±5 | 微弧度 | 典型值 |
偏轉角（X、Y） | <±10 | <±10 | 微弧度 | 典型值 |
機械特性 |
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剛度 | 1.5 | 20 | 牛/微米 | ±20 % |
諧振頻率，空載 | 500 | 2230 | 赫茲 | ±20 % |
帶120 克負載時的諧振頻率 | 370 | – | 赫茲 | ±20 % |
帶200 克負載時的諧振頻率 | 340 | 1550 | 赫茲 | ±20 % |
運動方向上的推/拉力 | 50 / 20 | 50 / 20 | 牛 | 大 |
驅動特性 |
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壓電陶瓷 | PICMAP-885 | PICMAP-885 |
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電容 | 6 | 6.2 | 微法 | ±20 % |
其他 |
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工作溫度范圍 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C |
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材料 | 鋁 | 鋁 |
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質量 | 0.58 | 0.58 | 千克 | ±5 % |
電纜長度 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
傳感器/電壓連接 | CD版本：Sub-D 25W3（公頭） CL版本：LEMO | Sub-D25W3（公頭） |
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*電控 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712 |
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* 帶數(shù)字式控制器。 使用模擬控制器測量的直接驅動平臺的非線性度高達0.1%的典型值。
因為PI壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。
所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）。
訂購信息
帶直接驅動器
P-733.2DD
高動態(tài)精密XY向納米定位系統(tǒng)，30 微米 × 30 微米，直接驅動，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器
帶Sub-D連接器（公頭）的版本
P-733.2CD
精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器
帶LEMO連接器的版本
P-733.2CL
精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器
配件
P-733.AP1
接裝板用于將P-733 壓電工作臺安裝在M-545 XY位移平臺上
線性定位器，真空兼容達10-9百帕
P-733.2VL 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器，真空兼容至10-6百帕
P-733.2VD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-6百帕
P-733.2UD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕
北京漢達森公司簡介
北京漢達森機械技術有限公司是一家專業(yè)從事歐洲工業(yè)產品進口貿易的公司。主要產品有工業(yè)自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內一些貿易商，設備商及終端客戶提供產品代購服務。
公司代理
NILOS軸承
NILOS密封件
NILOS軸承蓋
NILOS-RING 16036 180 280 31
NILOS-RING 16036 AV 267 220 180 5 0,5
NILOS-RING 16036 JV 200 230 280 5 0,5
NILOS-RING 16038 190 290 31
NILOS-RING 16038 AV 275 220 190 5 0,5
NILOS-RING 16038 JV 203 243 290 5 0,5
NILOS-RING 16040 200 310 34
NILOS-RING 16040 AV 286 235 200 5 0,5
NILOS-RING 16040 JV 220 255 310 5 0,5
NILOS-RING 16044 220 340 37
NILOS-RING 16044 AV 314 260 220 5 0,5
NILOS-RING 16044 JV 250 285 340 5,3 0,5
NILOS-RING 16048 240 360 37
NILOS-RING 16048 AV 335 280 240 5 0,5
NILOS-RING 16048 JV 260 315 360 5,8 0,5
NILOS-RING 16052 260 400 44
NILOS-RING 16052 AV 369 285 260 5,8 0,7
NILOS-RING 16052 JV 290 342 400 6,2 0,7
NILOS-RING 16056 280 420 44
NILOS-RING 16056 AV 390 345 280 5,3 0,7
NILOS-RING 16056 JV 310 360 420 7,7 0,7
NILOS-RING 16060 300 460 50
NILOS-RING 16060 AV 440 388 300 8 0,7
PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器
趙曉東
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