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紫外光刻膠-薄膠

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更新時(shí)間：2021-07-22 21:02:46瀏覽次數(shù)：403

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

紫外光刻膠-薄膠，S 1800 系列，AZ5214, BCI-3511, SPR 955, AZ1500

詳細(xì)介紹

紫外光刻膠-薄膠

詳細(xì)介紹：

類(lèi)型光刻膠型號(hào)適用光譜厚度范圍/um分辨率適用工藝

紫外光刻膠-薄膠

S1800系列

g-Line,
broad line

0.5-3.5

0.5um

正性光刻膠，穩(wěn)定性好；適用于分辨率要求較高的光刻工藝

AZ5214

g/h/i-Line

1-2um

0.5um

反轉(zhuǎn)膠

BCI-3511

i-Line

0.5-2

0.5um

正性i線光刻膠，適用于各類(lèi)接觸式光刻機(jī)（mask aligner）、stepper

SPR 955

i-Line

0.5-3.5

0.35um

正性i線光刻膠，適用于分辨率要求較高的濕法腐蝕和干法刻蝕

AZ 1500

g/h/i-Line

0.5-5

1um

正性光刻膠，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造

未標(biāo)題-1.jpg

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