VPG1600海德堡Heidelberg 終級(jí)型大尺寸掩膜版光刻機(jī)

VPG1600海德堡Heidelberg 終級(jí)型大尺寸掩膜版生產(chǎn)工具

新型Volume High Generator(VPG)大尺寸圖形發(fā)生器，是海德堡科技在大型光學(xué)系統(tǒng)上科技的創(chuàng)新與突破的里程碑。其利用的技術(shù)“寬闊的平行化曝光制程技術(shù)”而開(kāi)發(fā)出來(lái)的。

VPG是目前掩膜板大尺寸，大批量生產(chǎn)的可靠而又經(jīng)濟(jì)的解決方案，特別適用諸如：需要大量掩膜版的電子封裝產(chǎn)業(yè)，彩色濾光片產(chǎn)業(yè)，以及其它特別需要大面積，而且高分辨率需求相關(guān)產(chǎn)業(yè)。另外，VPG還可以提供優(yōu)異的影像質(zhì)量與注記差異（實(shí)際掩膜板與資料的差異）。

VPG 設(shè)計(jì)有可以搭載多樣化不同尺寸的承載平臺(tái)，例如：1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但這些系統(tǒng)都安裝有氣浮裝置，可配置半自動(dòng)或者全自動(dòng)的上下版裝置，并且可以選擇輸出功率20W的UV激光發(fā)射頭。微細(xì)化的寫(xiě)入步距，可以確保*的粗糙度和連接邊界。平臺(tái)位置自動(dòng)校正技術(shù)，可以進(jìn)行優(yōu)異的自我校正，以達(dá)到精準(zhǔn)的定位效果。