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W830/1300C TURBOVAC MAG digital磁懸浮復合分子泵

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更新時間：2024-09-13 07:10:07瀏覽次數(shù)：202次

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安博元科技無錫有限公司

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產(chǎn)品簡介

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型應用- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝- 進樣室，轉(zhuǎn)移室- 粒子加速器- 科研- 鍍膜系統(tǒng)技術(shù)特點- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控- 噪聲和振動低- 任意方向安裝- 的轉(zhuǎn)子設(shè)計，實現(xiàn)高......

詳細介紹

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)

典型應用

- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝

- 進樣室，轉(zhuǎn)移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)

技術(shù)特點

- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動低

- 任意方向安裝

- 的轉(zhuǎn)子設(shè)計，實現(xiàn)高抽速和高前級耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）

- C版耐腐蝕

客戶得益

- 免維護

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級耐壓高

- 同類中重量較輕，尺寸較小

- 耐粉塵

- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)

更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

技術(shù)特點

- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動低

- 任意方向安裝

- 的轉(zhuǎn)子設(shè)計，實現(xiàn)高抽速和高前級耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）

- C版耐腐蝕

客戶得益

- 免維護

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級耐壓高

- 同類中重量輕，尺寸小

- 耐粉塵

- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)

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典型應用

- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝

- 進樣室，轉(zhuǎn)移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)

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技術(shù)參數(shù)						TURBOVAC MAG
		W 830		W 830 C		W 1300			W 1300 C
進氣口法蘭		DN	160 CF		160 ISO-F		200 CF	200 ISO-F		250 ISO-F
抽速
氮氣		I x s-1	900		700		1170	1100		1220
氬氣		I x s-1	750		650		1100	1050		1180
氦氣		I x s-1	900		500		1150	1100		1200
氫氣		I x s-1	740		350		920	920		1020
轉(zhuǎn)速		min-1	36 000		24 000		36 000	36 000		36 000
壓縮比
氮氣			1 5 x 108		> 5 x 107		1 5 x 108	> 108		> 108
DIN 28 400的極限壓強
		mbar	< 1 x 10-10		< 10-8		< 1 x 10-10	< 10-8		< 10-8
		(Torr)	(< 0 75 x 10-10)		(< 0 75 x 10-8)		(< 0 75 x 10-10)	(< 0 75 x 10-8)		(< 0 75 x 10-8)
前級耐壓，氮氣
對流冷卻水冷卻		mbar (Torr)mbar (Torr)	0 2 (0 15) 2 0 (1 5)		– 2 0 (1 5)		0 2 (0 15) 2 0 (1 5)	– 2 0 (1 5)		– 2 0 (1 5)
推薦的前級泵
旋片泵			TRIVAC		TRIVAC		TRIVAC	TRIVAC		TRIVAC
或抽速達100 m3/h的干壓縮泵			D 65 BCS		D 65 BCS		D 65 BCS	D 65 BCS		D 65 BCS
加速時間	min		< 6		< 4		< 6	< 6		< 6
前級管道法蘭	DN		40 ISO-KF		40 ISO-KF		40 ISO-KF	40 ISO-KF		40 ISO-KF
保護氣/破空端口	DN		10 ISO-KF/ 16 ISO-KF		10 ISO-KF/ 16 ISO-KF		10 ISO-KF/ 16 ISO-KF	10 ISO-KF/ 16 ISO-KF		10 ISO-KF/ 16 ISO-KF
水冷接口尺寸
(管子外徑)	mm (in )		1/4"		1/4"		1/4"	6		6
重量	kg (lbs)		35 (77 3)		32 (70 6)		35 (77 3)	32 (70 6)		32 (70 6)