零部件清洗機(jī)CSE

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更新時(shí)間：2025-02-13 08:33:52瀏覽次數(shù)：27次

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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：66條

所在地區(qū)：江蘇南通市

聯(lián)系人：嚴(yán)先生（市場部經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

零部件清洗機(jī)_華林科納CleanStep的零部件被設(shè)計(jì)用于PECVD刻蝕清洗設(shè)備，以及石墨舟、石英舟、碳化硅舟等擴(kuò)散舟的刻蝕和清洗設(shè)備

詳細(xì)介紹

零部件清洗機(jī)_華林科納

CleanStep的零部件被設(shè)計(jì)用于PECVD刻蝕清洗設(shè)備，以及石墨舟、石英舟、碳化硅舟等擴(kuò)散舟的刻蝕和清洗設(shè)備。

優(yōu)點(diǎn)

> 通過關(guān)閉的工藝腔室的安全操作，加載和僅一次工藝腔室沖洗之后卸載，完成整個(gè)工藝過程。

> 安全門自鎖裝置

> 工藝腔室保護(hù)防止水溢流

> 排風(fēng)監(jiān)控部件

> 用于門自鎖的電導(dǎo)傳感器（僅適用于石英舟清洗設(shè)備）

> 簡便、安全操作的高品質(zhì)觸摸屏

> 很少的化學(xué)品消耗產(chǎn)生最小的生產(chǎn)費(fèi)用，與浸泡式工藝相比至少節(jié)約2-3倍

> 減少了操作次數(shù)

> 化學(xué)品的消耗，與浸泡式工藝相比要少于大約10倍

> 穩(wěn)定的清洗工藝，水的消耗，與浸泡式工藝相比少于2倍

> 設(shè)備高利用率和低維修率，得益于它的模塊化設(shè)計(jì)和長壽命零部件的應(yīng)用

> 的占地

應(yīng)用

CleanStep的零部件被設(shè)計(jì)用于PECVD刻蝕清洗設(shè)備，以及石墨舟、石英舟、碳化硅舟等擴(kuò)散舟的刻蝕和清洗設(shè)備。標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)的設(shè)備是用于2個(gè)石墨舟或4個(gè)石英舟的清洗。同時(shí)也強(qiáng)有力的證明了用噴淋工藝代替浸泡工藝不僅節(jié)約了工藝時(shí)間，同時(shí)也節(jié)約了化學(xué)品的消耗量。

選項(xiàng)

> 廢液槽起重裝置

> 系統(tǒng)外殼結(jié)構(gòu)[FM認(rèn)可材質(zhì)]

> HF有毒氣體檢測(cè)裝置

> Centrotherm 一套石墨舟花籃可裝載19片到21片晶圓?可拆卸石墨舟?

> Centrotherm 一套石墨舟可裝載23片?可拆卸石墨舟?

> 石英部件清洗的石英舟夾具

> 漏液盤連接閥

> 電阻率監(jiān)測(cè)裝置

> 手動(dòng)加載花籃干燥的烘干箱

> 30升的HNO3 / HF/ DI-H2O的預(yù)備槽

> 獨(dú)立的設(shè)備化學(xué)品供應(yīng)用于回收用過的HF