BGV 氣動(dòng)真空插板閥 ISO63 返回列表頁(yè)

BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成，用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計(jì)的，可以使泵在前級(jí)管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行，從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有高的性和正常運(yùn)行時(shí)間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力，并可承受閥密封兩側(cè) 1 bar 的差壓。

雖然 BGV 閥主要用于隔離半導(dǎo)體工廠地下室內(nèi)的泵，但這些閥也適用于開(kāi)啟時(shí)需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應(yīng)用場(chǎng)合。

• 與密封 VAT 合作。
• 不銹鋼結(jié)構(gòu)，采用獲得的設(shè)計(jì)，使用
• 簡(jiǎn)單的無(wú)油脂機(jī)構(gòu)大程度減少了多塵制程中因微粒導(dǎo)致的損壞
• 可以在 1 bar 差壓下運(yùn)行，因此無(wú)需進(jìn)行壓力平衡
• 維修方便，只需要的易耗品，低運(yùn)行成本
• 表面光滑，易于清潔
• 提供時(shí)已安裝螺線管和電線，便于訂購(gòu)和安裝
• 即插即用，在使用可選的 BGV TIM 接口電纜的情況下與 Edwards 半導(dǎo)體干泵兼容。

泄漏值
殼體	< 1 x 10-9 mbar ls-1
閥座	< 1 x 10-7 mbar ls-1
壓力范圍	1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara
插板上的壓差	1.2 bar（在任一方向上）
打開(kāi)時(shí)的壓差	1 bar
**檢修前的循環(huán)數(shù)	5, 000
高工作溫度
閥體	120 °C
手動(dòng)執(zhí)行器	80 °C
氣動(dòng)執(zhí)行器	80 °C
位置指示器	60 °C
螺線管閥	50 °C
分子流電導(dǎo)
NW50	300 ls-1
ISO63	400 ls-1
ISO80	1100 ls-1
ISO100	1700 ls-1
ISO160	4600 ls-1
重量
NW50	3.3 kg (7.3 lbs)
ISO63	6.6 kg (14.6 lbs)
ISO80	7.0 kg (15.4 lbs)
ISO100	8.5 kg (18.7 lbs)
ISO160	17.7 kg (39.0 lbs)
構(gòu)造材料：
殼體	AISI 304 不銹鋼
閥蓋	黑色陽(yáng)極化鋁
插板	AISI 304 不銹鋼
助滑器	PEEK
波紋管	AISI 633 不銹鋼
密封件	氟橡膠
插板固定螺釘	A2 不銹鋼 Ni-teflon 鍍膜
手柄	強(qiáng)化聚酰胺
氣動(dòng)閥
螺線管閥額定值
標(biāo)準(zhǔn)螺線管閥	24V - 15%/+ 10%，直流/交流，2.4 W
位置指示器觸點(diǎn)額定值	12 - 30 V 直流/交流，大 500 mA，大 10 W
氣動(dòng)供氣
供應(yīng)壓力	58 psig（4 bar 壓力表壓力，5 bar 壓力，5 x 105 Pa）
大供應(yīng)壓力	100 psig（7 bar 壓力表壓力，8 bar 壓力，8 x 105 Pa）
氣動(dòng)接頭	R1/8 英寸（閥的 1/8 英寸 NPT 在訂購(gòu)）