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BGV 氣動(dòng)真空插板閥 ISO63

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產(chǎn)品型號(hào)B90003110

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2025-03-16 08:45:33瀏覽次數(shù):6次

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BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成,用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計(jì)的,可以使泵在前級(jí)管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行,從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有高的性和正常運(yùn)行時(shí)間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar()(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力,并可承受閥密封兩側(cè) 1 ......

概述

BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成,用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計(jì)的,可以使泵在前級(jí)管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行,從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有高的性和正常運(yùn)行時(shí)間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar()(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力,并可承受閥密封兩側(cè) 1 bar 的差壓。

雖然 BGV 閥主要用于隔離半導(dǎo)體工廠地下室內(nèi)的泵,但這些閥也適用于開(kāi)啟時(shí)需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應(yīng)用場(chǎng)合。

功能和優(yōu)勢(shì)

  • 與密封 VAT 合作。
  • 不銹鋼結(jié)構(gòu),采用獲得的設(shè)計(jì),使用
  • 簡(jiǎn)單的無(wú)油脂機(jī)構(gòu)大程度減少了多塵制程中因微粒導(dǎo)致的損壞
  • 可以在 1 bar 差壓下運(yùn)行,因此無(wú)需進(jìn)行壓力平衡
  • 維修方便,只需要的易耗品,低運(yùn)行成本
  • 表面光滑,易于清潔
  • 提供時(shí)已安裝螺線管和電線,便于訂購(gòu)和安裝
  • 即插即用,在使用可選的 BGV TIM 接口電纜的情況下與 Edwards 半導(dǎo)體干泵兼容。

數(shù)據(jù)

泄漏值
  殼體 < 1 x 10-9 mbar ls-1
  閥座 < 1 x 10-7 mbar ls-1
壓力范圍 1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara
插板上的壓差 1.2 bar(在任一方向上)
打開(kāi)時(shí)的壓差 1 bar
**檢修前的循環(huán)數(shù) 5, 000
高工作溫度
  閥體 120 °C
  手動(dòng)執(zhí)行器 80 °C
  氣動(dòng)執(zhí)行器 80 °C
  位置指示器 60 °C
  螺線管閥 50 °C
分子流電導(dǎo)
  NW50 300 ls-1
  ISO63 400 ls-1
  ISO80 1100 ls-1
  ISO100 1700 ls-1
  ISO160 4600 ls-1
重量
  NW50 3.3 kg (7.3 lbs)
  ISO63 6.6 kg (14.6 lbs)
  ISO80 7.0 kg (15.4 lbs)
  ISO100 8.5 kg (18.7 lbs)
  ISO160 17.7 kg (39.0 lbs)
構(gòu)造材料:
  殼體 AISI 304 不銹鋼
  閥蓋 黑色陽(yáng)極化鋁
  插板 AISI 304 不銹鋼
  助滑器 PEEK
  波紋管 AISI 633 不銹鋼
  密封件 氟橡膠
  插板固定螺釘 A2 不銹鋼 Ni-teflon 鍍膜
  手柄 強(qiáng)化聚酰胺
氣動(dòng)閥
螺線管閥額定值
  標(biāo)準(zhǔn)螺線管閥 24V - 15%/+ 10%,直流/交流,2.4 W
位置指示器觸點(diǎn)額定值 12 - 30 V 直流/交流,大 500 mA,大 10 W
氣動(dòng)供氣
  供應(yīng)壓力 58 psig(4 bar 壓力表壓力,5 bar 壓力,5 x 10Pa)
  大供應(yīng)壓力 100 psig(7 bar 壓力表壓力,8 bar 壓力,8 x 105 Pa)
氣動(dòng)接頭 R1/8 英寸(閥的 1/8 英寸 NPT 在訂購(gòu))

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