制藥網
詳細介紹
| 型號 | ALD-1200 | ||
| ALD 控制面板 | 1 、5路控制溫控系統(tǒng)，可以加熱ALD里管路和ALD容器內液體 2、2路氣體脈沖交替控制系統(tǒng)（交替時間、交替次數等、用單片機或PLC 控制能夠達到ms | ||
| ALD閥門 | 1、能夠在不到 5 ms 內完成閥門開啟或關閉 2、高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命、在產品評估是循環(huán)次數超過了次 3、耐 熱 執(zhí) 行 器 、耐 溫 高 達200°C（392°F） | ||
| ALD原理 | ALD化學氣相沉積是將不同的反應前驅物以氣體脈沖的形式交替送入反應室中并在沉積基體上化學吸附并反應而形成沉積膜的一種方法（技術） | ||
| 源瓶
| 源瓶特點 1、所用管件采用316L不銹鋼，內部經400目機械拋光和電化學拋光，Ra≤0.25μm。 2、閥門采用美國世偉洛克球閥或隔膜閥。 3、密封墊片采用純銀鍍鎳墊片。 4、氦質譜檢測泄漏率≤1.0*10mba L/s。
5、可盛裝化學品純度≥99.9995%。
6、總殘余元素量≤50PPb。 | ||
| ALD簡圖
| 1、 不銹鋼真空腔體與ALD管路連接 2、 2個ALD閥門、控制2路管道交替脈沖輸入 3、多根加熱管給ALD管道和石英容器加熱、保證被汽化液體保持汽化狀態(tài)進入反應區(qū)域。 4、多個球閥控制管路的通過。 5、多個旁通支路、可以通氣其他氣體或運載氣體。 | ||
| 功率 | 3.6KW | ||
| 管式爐 | 加熱區(qū)尺寸 | 160X540mm | |
| 電源 | 220V單相 | ||
| 加熱元件 | 國產優(yōu)質電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進口電阻絲） 點擊進入資料下 | ||
| 控制方式 | 采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節(jié)。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
| ||
| 斷偶保護和顯示 | 有 | ||
| 過溫保護 | 有 | ||
| 過流保護 | 有 | ||
| 控制精度 | ±1 | ||
| 觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | ||
| 電器 | 浙江正泰 | ||
| 可控硅 | 106/16E 德國西門康 | ||
| 溫度 | 1200 ℃ | ||
| 額定溫度 | 1100 ℃ | ||
| 升溫速率 | ≤30 ℃/ Min | ||
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/ Min | ||
| 熱電偶型號 | K 型 | ||
| 電器認證 |  | ||
| 四周表面溫度 | ≤45℃ | ||
| 質量流量計
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） | |
| 耐壓 | 3MP | ||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
| 工作（使用）壓力 | 0.3MPa | ||
| 線性 | ±0.5%F.S. | ||
| 重復精度 | ±0.2% F.S | ||
| 路數 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | ||
| 真空泵
| 型號 | VRD-8 | |
| 極限分壓強 | 5X10-2 Pa | ||
| 進排氣接口 | KF25 | ||
| 電機轉速 | 1440RPM | ||
| 抽氣速率 | 2.2L/S | ||
| 電機功率 | 0.4KW | ||
| 瑞典（INFICON） 皮拉尼陶瓷電容真空計
| 型號 | PCG554 | |
| 輸入電壓 | 24V 1A DC（配有220V變壓器） | ||
| 真空計接口 | KF16 | ||
| 數字顯示 | 數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr | ||
| 產品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | ||
| 重量 | 5 lbs | ||
| 檢測氣體 | 可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。 | ||
| 是否防腐 | 防腐 | ||
| 響應時間 | ≤30ms | ||
| 測量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | ||
這款 ALD原子層氣相沉積系統(tǒng)由管式爐、不銹鋼真空室、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)和ALD系統(tǒng)組成。
管式爐以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移向觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，
開蓋保護系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的安全。
1、 電阻絲
原絲 電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、電阻均衡、溫場均衡性好
電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關和漏電保護器：
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認證電氣板 （全部通過UL認證的進口電器）
6、認證
制藥網