詳細介紹
產(chǎn)品特點
機構(gòu)·方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承·工作臺回轉(zhuǎn)式 |
---|---|
回轉(zhuǎn)精度 | 0.05µm (JISB 7451) |
測定徑 | 內(nèi)外徑都是?550mm(※EC5100H的機種) |
積載質(zhì)量 | 200kg (※EC5100H的機種) |
上下移動量 | 1000mm(使用b觸針臂時)(※EC5100H的機種) |
工作臺移動范圍 | X:800mm(左500mm, 右300mm) Y:士60mm |