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大塚電子（蘇州）有限公司


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MCPD series 在線評估測試系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：廖海榮查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-10-15 07:51:30瀏覽次數(shù)：80次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：39條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：廖海榮 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

本公司的MCPD series在線膠卷評價系統(tǒng)，由于光學(xué)式非接觸·非破壞的膜厚，濃度，顏色等的檢查可能?？蓽y定膜厚范圍為65nm～92μm和薄膜到厚膜都對應(yīng)。（折射率1.5時）測量原理為分光干涉方式，在實現(xiàn)高測量再現(xiàn)性的同時，還支持多層厚度測量。由于采用了獨自算法，可以高速實時監(jiān)控，所以作為在線膠片監(jiān)控，我們提出了的系統(tǒng)。...

詳細介紹

產(chǎn)品信息

特　點

● 工藝過程中的薄膜高速測量

●最短曝光時間1ms～※根據(jù)規(guī)格

●支持遠程測量

●膜厚測量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）

基本配置

基本構(gòu)成.png

多點測量點切換對應(yīng)系統(tǒng)

在多點測量點切換對應(yīng)系統(tǒng)中，通過在TD方向預(yù)先設(shè)置任意寬度的多分支光纖，可以在不驅(qū)動光纖的情況下測量TD方向的膜厚分布?？梢宰鳛橥繉拥臈l件和實時監(jiān)視器使用。

檢測器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)為1式，通過光纖的光路切換可以進行多點測定。

多點.png

橫動單元對應(yīng)系統(tǒng)

在橫動單元對應(yīng)系統(tǒng)中，通過在TD方向上驅(qū)動橫動單元，可以以任意寬度和任意間距測量TD方向的膜厚分布。

可以作為涂層條件提出和實時監(jiān)控使用。 由于通過排線單元的驅(qū)動進行多點測量，因此無需準備多臺檢測器和數(shù)據(jù)處理。

トラバース.png

即使在真空環(huán)境下也可以在多點進行反射、透射光譜測定

通過使用各種法蘭對應(yīng)的耐真空纖維，可以在高真空下測量反射、透射光譜。

另外，膜厚運算不易受到基膜的上下移動的影響，并且采用精度良好的薄膜測量大冢電子獨自的算法，可以作為實時監(jiān)視器使用。

真空.png


  式樣

 MCPD-9800仕様

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MCPD-6800仕様

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