概述
EXT75DX 是一種是混合軸承復合分子泵，它將經(jīng)實踐證明的陶瓷機械下軸承、干式永磁上軸承和 Holweck 分級與帶來額外便利性的板上 24 V 控制器結(jié)合在了一起，該控制器可實現(xiàn)與 TAG 和 TIC 控制器兼容的并行和串行通信。 它隨附 aDN40NW、ISO63、DN63CF 或 ISO100 入口法蘭，N2抽速高可達 66ls-1。 基本的泵系統(tǒng)可能需要 EXT75DX 泵、TAG 或 TIC 控制器，或者空氣或水冷卻附件以及合適的前級泵。
功能和優(yōu)勢
通過板上控制可以降低運行功耗，減少運行成本。此外，這種控制器還增加了電子制動、冷卻風扇和自動排氣選件。
與 Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個或多個真空計而不需要額外的顯示控制器。
并行或串行接口。
并行模式允許使用傳統(tǒng)控制信號界面。
串行模式提供 RS232，可以控制泵狀態(tài)，并連續(xù)監(jiān)控：
排氣閥控制設(shè)置
運行速度指示
待機運行速度
可編程功率設(shè)置
功耗
泵/控制器溫度
標配的入口篩網(wǎng)。
用于清潔泵、減少振動和大程度降低磨損的永磁上軸承。
手動排氣閥（電磁閥操作的型號可以用于全自動排氣）。
Holweck 分級實現(xiàn)高吞吐量和高前級壓力容差。
氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護電機和下軸承。
數(shù)據(jù)
| 進氣口法蘭 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K |
| 法蘭 | DN16NW |
| 排氣/吹掃口 | 1/8 英寸 BSP |
| 抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100) | |
| N2 | 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1) |
| He | 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1) |
| H2 | 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1) |
| 壓縮比 | |
| N2 | >1 × 1011 |
| He | 1 x 106 |
| H2 | 5 x 104 |
| 前級泵 | RV5/nXDS6i |
| 大連續(xù)進氣口壓力（輕氣體泵送）? | |
| 水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度） | 2 × 10-2 mbar |
| 強制空氣冷卻，35 °C 環(huán)境溫度 | 1 × 10-2 mbar |
| 泵旋轉(zhuǎn)速度 | |
| 標稱旋轉(zhuǎn)速度 | 90000 rpm |
| 待機旋轉(zhuǎn)速度 | 在 49500 至 90000 rpm 之間變化 （63000 rpm 默認） |
| 可編程功率限制設(shè)置 | 可在 50 至 120W 之間變化（默認為 80W） |
| 模擬輸出 | 轉(zhuǎn)速； 功耗；泵溫度；控制器溫度 |
| 到 90% 速度的啟動時間 | 110 s ? |
| 極限壓力 (ISO/CF) | |
| RV 前級泵 | <5 x 10-9/5 x 10-10 |
| 隔膜前級泵 | <5 x 10-8/5 x 10-9 |
| 冷卻方法# | 強制空氣/水 |
| 強制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度 | 5 - 35 °C |
| 冷卻水流速（15 °C 的水） | 15 l h-1 |
| 水溫范圍 | 10 - 20 °C |
| 高進氣口法蘭溫度 | 100 °C |
| 操作姿態(tài) | 垂直且豎直，直到 水平 |
| 1 米處的噪音級別 | <50 dB(A) |
| 泵可以承受的大磁場 | 5 mT |
| 控制器 | TIC100 |
| 靜止電功率 | 10 W |
? 在此入口壓力之上，旋轉(zhuǎn)速度會降至低于標稱速度。
? 功率限制設(shè)置為 80 W。
# 空氣和水冷卻附件須單獨訂購
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