德國Sentech光伏測量儀器MDPpro,激光掃描系統(tǒng)
少子壽命測量儀器的特征在于以1mm分辨率對500mm的一個面在不到4分鐘內(nèi)完成掃描。電阻率和少子壽命的測量*無觸摸。利用微波檢測光電導(dǎo)率(MDP)同時測量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和p/n導(dǎo)電類型的變化。
MPDPro設(shè)計用于對電特性進行分析,在四分鐘的測量時間內(nèi),對1毫米分辨率,500毫米磚磚(或晶片)自動掃描。進行*非接觸測量。
MDPpro系列具有快速、靈活,自動掃描多晶硅磚和晶片的穩(wěn)固設(shè)計。同時測量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度,所有測量圖形同時繪制。這個儀器的設(shè)置非常簡單,僅需要電源。測量必要性包括了工作站與數(shù)據(jù)庫。樣品裝載可以手動或由自動系統(tǒng)來完成。在1mm分辨率下,156x 156 x 400 mm標準磚的測量速度小于4分鐘。電阻率自動掃描選項具有長時間穩(wěn)定性而無需頻繁重新校準。用于參考測量的校準庫也是可用的。由于偏析和預(yù)期摻雜類型的過補償導(dǎo)致的導(dǎo)電類型轉(zhuǎn)換的空間分辨測量可以以高空間分辨率來研究。
該儀器被設(shè)計用于工藝和材料的質(zhì)量監(jiān)控,例如單晶或多晶硅。多晶硅磚切割標準的自動輸出。能夠根據(jù)爐子的輸出質(zhì)量進行單獨的爐子監(jiān)控進行優(yōu)化和決定投資。MDPpro是多晶硅磚生產(chǎn)商以及爐子技術(shù)生產(chǎn)商的標準儀器。
優(yōu)勢
- 脫機或晶圓的整體工具系列。少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率、p/n導(dǎo)電類型變化和幾何樣品平整度的同時自動掃描。
- 對于156x 156 x 400 mm標準磚,測量速度小于4分鐘,分辨率為1mm,所有5幅測量圖形同時繪制。
- 堅固耐用的設(shè)計和易于設(shè)置的性能。對于安裝,僅需要電源。帶有數(shù)據(jù)庫的工作站包含在下面的隔間中。