CY-S-PC柜式勻膠機產(chǎn)品特點:
1. 耐腐蝕PP全柜式獨立勻膠臺
2.勻膠機底部帶廢膠收集,頂部帶抽風功能
3.可升級自動點膠功能,適合工業(yè)化生產(chǎn)
4.集成觸摸屏控制,上下移動式透明觀察窗
5.使用伺服電機系統(tǒng),性能穩(wěn)定,滿足工業(yè)要求
CY-S-PC柜式勻膠機產(chǎn)品參數(shù):
1.旋涂程序:至多存100組程序,每組100步,每個步驟可**到0.1秒
2.轉(zhuǎn)動速度:0-5000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm
3.旋涂加速度:0-10000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s
4.馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差:< ±1rpm
5.轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復性:1rpm
6.工藝時間設定: 0-3000 sec/step,時間設置精度:0.1sec
7.支持晶圓尺寸25px-300mm(12“圓晶)
8.旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
9..可配備多路自動點膠功能,點膠流速0.006-990ml/min可調(diào)
10.標配三種規(guī)格真空載物盤,其它尺寸可定制設計
11.可配備多路自動點膠功能,點膠流速0.006-990ml/min可調(diào)
12.標配三種規(guī)格真空載物盤,其它尺寸可定制設計
13.外型尺寸:1200mm(W)*800mm(D)*2300mm(H)
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